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本申请公开一种用于沉积设备的调温装置包括:外套壳,包括收容腔和进口,进口设置在外套壳的顶壁上;内套筒,与进口同轴设置在收容腔内,高度小于收容腔的高度,横截面面积大于进口的横截面面积且小于收容腔的横截面面积,内套筒的顶端开口并设置在外套壳的顶壁上,内套筒的底壁上设置有通孔;第一加热单元,覆盖在内套筒的内侧壁上;第二加热单元,设置在外套壳的底壁与内套筒的底壁之间,第二加热单元的横截面面积大于通孔的横截面面积;散热组件,设置在内套筒与外套壳之间;检测件,用于检测内套筒内的环境温度;控制器,根据检测件的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220450294U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202321995755.0
(22)申请日2023.07.26
(73)专利权人芜湖协鑫集成新能源科技有限公
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