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    提供：可以兼顾高研磨速率和表面品质的研磨用组合物。通过本发明可以提供：用于对研磨对象材料进行研磨的研磨用组合物。该研磨用组合物包含偏钒酸钠、过氧化氢、和二氧化硅磨粒。偏钒酸钠的含量C1为0.7重量％～3.5重量％，过氧化氢的含量C2为0.3重量％～3重量％，二氧化硅磨粒的含量C3为12重量％～50重量％。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115386342A

    (43)申请公布日2022.11.25

    (21)申请号202210941941.XB24B37/00(2012.01)

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