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本发明涉及一种基于激光的晶圆巡边装置及其控制方法，包括：工作台；旋转机构，所述旋转机构包括负压吸盘；离心力检测机构，所述离心力检测机构包括负压吸盘罩体、转动轴承、轴承安装座、压力传感器，所述负压吸盘罩体罩设于所述负压吸盘，所述压力传感器的检测端抵接于所述转动轴承的外圈；激光投光器和激光受光器，所述激光投光器可摆动设置；控制系统，所述控制系统用于根据所述压力传感器的数据控制所述激光投光器的投光角度，从而延长或缩短所述激光投光器发出的投射激光被所述晶圆遮挡后在所述激光受光器呈现的阴影，从而修正激光受
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117524963A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202410019678.8
(22)申请日2024.01.05
(71)申请人厦门特仪科技有限公司
地址36
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