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本发明公开一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置及其生产方法,包括依次通过管线连接的原料储罐、洗涤塔、干燥塔、吸收塔、缓冲罐和超净过滤装置,所述洗涤塔包括第一洗涤塔和第二洗涤塔,所述第一洗涤塔塔顶设有氧化剂溶液喷洒管,所述第二洗涤塔塔顶设有络合剂溶液喷洒管;本发明能够有效达到去除工业氨气中的金属杂质和气体杂质,达到提纯氨气制备电子级氨水的目的,同时又能解决工艺流程长,精馏工艺复杂且操作难度大、能耗高,产品纯度的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117509668A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311314399.6
(22)申请日2023.10.11
(71)申请人湖北兴福电子材料股份有限公司
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