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MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用
慧聪网2005年3月3日14时39分信息来源：半导体技术网友评论0条进入论坛
1引言
微电子机械系统(MEMS)技术作为一项新兴的微细加工技术，已开始在各领域应用。它可将信息获取、
处理和执行等功能集成，具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等优点，在红外探测
技术领域也有非常广泛的应用前景，将为该领域的研究提供一条更新的途径。将MEMS技术用于非制冷红
外探测器的研制能够使器件向高可靠性、微型化、智能化、
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