面向晶上集成的具有耐高温垂直微镜结构的光计算芯片.pdfVIP

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2024-02-03 发布于北京
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面向晶上集成的具有耐高温垂直微镜结构的光计算芯片.pdf

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本发明公开了面向晶上集成的具有耐高温垂直微镜结构的光计算芯片，包括晶圆及其上若干光计算基本单元和光路控制光学元件，光计算基本单元包括N型光逻辑开关和P型光逻辑开关，二者均包括透光结构、可动结构、固定结构，根据逻辑需要向所述透光结构、可动结构、固定结构施加电压，实现可动结构保持不动、偏转或移动，进而实现光路的通断；光计算基本单元通过如下过程制备得到：在晶圆上表面深刻蚀或先沉积结构层再光刻刻蚀形成包括透光结构、可动结构、固定结构的垂直微镜结构；对垂直微镜结构的垂直侧壁进行平坦化抛光；在垂直微镜结构上

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117486167A

(43)申请公布日2024.02.02

(21)申请号202311711893.6

(22)申请日2023.12.13

(71)申请人之江实验室

地址311121

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