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本实用新型提供了一种晶圆承载盘的清洁工具,包括:主杆;清洁结构,其包括壳体、压筒、支撑杆和清洁布,支撑杆与壳体连接,支撑杆穿设壳体并与压筒连接,压筒的一部分位于壳体外,清洁布的两侧固定在壳体的侧壁,且压筒位于壳体的腔室之外的部分与清洁布压贴;支撑杆与主杆铰接;连接杆组件,其包括第一连接杆和第二连接杆,第一连接杆的一端和第二连接杆的一端铰接,第二连接杆的另一端与主杆铰接,第一连接杆的另一端与支撑杆铰接。本实用新型在不打开机台盖板的情况下,只打开探针卡盖就能清洁晶圆承载盘,操作简单便捷。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220426240U
(45)授权公告日2024.02.02
(21)申请号202321756957.X
(22)申请日2023.07.05
(73)专利权人粤芯半导体技术股份有限公司
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