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12时晶圓厂废水处理流程

一、12时圆晶废水来源及污染物

生产过程中产生的研磨废水、含铜废水、酸碱废水、洗涤废水、含氟废水和

有机废水。以及在日常清洗设备废水和清洗地坪废水。废水污染物有重金属离子

（铜）、氟离子、COD、pH、氨离子等等。这些污染物生物难以降解、有毒危害、

重金属危害等等情况，以至于不能直接排入水体，需要经过废水处理工艺进行处

理。

二、12时圆晶废水处理工艺流程

1.物化处理法，将废水经过提升泵抽送的作用下抵达到沉淀池，投入絮

剂。其中悬浮物的胶体及分散颗粒在分子力的相互作用下生成絮状体且在沉降过

程中它们互相碰撞聚，其尺寸和质量不断变大，沉速不断增加，最后沉淀。可

以分别运用（根据不同的物质运用不同的药剂）到含铜废水、研磨废水和含氟废

水里。

2.吹脱法，把空气通入废水中，使空气与废水接触，溶解于废水中的气体

便从废水传递到空气中。

3.生化处理法，运用此方法除去废水中含有的酸碱有机物。废水通过微生

物降解和有机物向无机物的代谢来处理。通过人工创造一个适合微生物生存和繁

殖的环境，它们可以繁殖并提高其氧化分解有机物的效率。根据使用的微生物种

类，可分为好氧法、厌氧法和生物酶法。生物法处理有机气体主要有生物装置和

工艺，如生物滤池、生物滴滤塔、生物洗涤器、膜生物反应器和活性污泥。