- 1、本文档共10页,其中可免费阅读9页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种气体传感器,属于微电子机械系统领域,包括硅衬底、绝缘介质支撑层、信号发生源、信号接收源和绝缘介质钝化层,绝缘介质支撑层设置在硅衬底的上表面,至少一个信号发生源和至少一个信号接收源均设置在绝缘介质支撑层的上表面,绝缘介质支撑层上设置为两端固定悬臂梁,悬臂梁上沉积信号发生源和信号接收源,信号发生源和信号接收源之间存在间距,绝缘介质钝化层设置在信号发生源、信号接收源和绝缘介质支撑层的上表面,还提供一种气体传感器制备方法及检测方法;利用气体介质热量传递时间进行信号提取,信号发生源为气体导
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117471044A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202311490370.3B81C1/00(2006.01)
(22)申请日2023.11.0
您可能关注的文档
- 一种基于机器学习的手机芯片热成像分析方法.pdf
- 货源发布运费确定方法、系统、设备及存储介质.pdf
- 基于神经网络的蛇伤医疗费用预测方法、装置及电子设备.pdf
- 一种基于Unity 3D的虚拟教学交互系统.pdf
- 一种仓储吊装钩加工用的夹紧装置.pdf
- 基于非侵入性参数的低体温症预警方法及系统.pdf
- 一种自动放料喂养猪舍养殖系统.pdf
- 可变限速及动态车道管理方法、装置、计算机设备.pdf
- 一种超薄压延铜箔制备装置及方法.pdf
- 一种基于智慧校园建设的校内公共设备运维管理系统.pdf
- 2023年云南省昭通市正道高级完中学初中学业水平模拟化学试卷(一).docx
- 2021-2022学年重庆市沙坪坝区七年级(下)期末语文试卷.docx
- 2021-2022学年重庆市南川区七年级(下)期中生物试卷.docx
- 2022-2023学年重庆市忠县七年级(下)期末生物试卷.docx
- 2024年云南省昭通市威信县中考语文二模试卷.docx
- 2022-2023学年重庆市渝中区求精中学七年级(下)期末数学试卷.docx
- 2023年云南省昭通市永善县中考化学三模试卷.docx
- 2021-2022学年重庆市大足区七年级(下)期末生物试卷.docx
- 2022-2023学年重庆市开州区七年级(下)期末语文试卷.docx
- 2024年云南省保山市中考语文模拟试卷.docx
文档评论(0)