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本发明公开了一种阵列式光电型激光功率计及其制备方法,涉及激光功率探测器技术领域,激光功率计包括:从下到上依次叠层设置的衬底、底电极层、吸收层、缓冲层、窗口层和顶电极层;底电极层与上电极阵列连接,顶电极层与背电极阵列连接;上电极阵列包括多个按照第一方向均匀排列的电极,背电极阵列包括多个按照第二方向均匀排列的电极,第一方向在水平面的投影与第二方向在水平面的投影互相垂直;底电极层包括多个沿第一方向按照第一预设宽度划分的像素区域;窗口层包括多个沿第二方向按照第二预设宽度划分的光电信号采集区域;吸收层的材
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115911150A
(43)申请公布日2023.04.04
(21)申请号202211429092.6H01L31/18(2006.01)
(22)申请日2022.11.
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