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本发明公开了一种晶圆的气体喷洒结构及喷洒方法,该晶圆的气体喷洒结构,包括晶圆、设于所述晶圆上的气孔、设于所述晶圆上方的喷头,所述喷头的喷嘴朝向所述气孔,所述气孔与所述喷头的相对位置固定,所述喷头用以向所述气孔喷洒气体。本发明解决了现有技术存在的容易出现气体未准确喷洒到晶圆表面的现象产生产品不良、浪费大量气体等问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117467944A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202210865889.4
(22)申请日2022.07.22
(71)申请人成都高真科技有限公司
地址61
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