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本发明是一种无尘室之间的搬送物捆包用的捆包材料,其特征在于,该捆包材料用于在半导体工厂的设为洁净气氛的无尘室之间搬送FOUP或FOSB即搬送物时,对所述搬送物进行捆包,包含具有防尘性和防湿性的无尘布。由此能够提供一种捆包材料,其能够在将FOUP或FOSB即搬送物保持在高洁净度的状态下,以低成本在无尘室之间对搬送物进行搬送。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117480594A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202280042090.3(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限
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