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本发明的课题在于,在使用3个以上抵接部件的定心装置及使用所述定心装置的衬底处理装置中,提高定心精度,且所述抵接部件设置成在水平面内包围载置着周缘部设置着缺口部的圆板状的衬底的衬底支撑部。在所述发明中,3个以上的抵接部件具有能够与衬底的端面抵接的抵接面且配置成以抵接面朝向衬底的端面的姿势在水平面内包围衬底支撑部。另外,抵接面与水平面交叉形成的能够抵接区域为曲率中心位于直线或衬底侧且具有大于衬底的半径的曲率半径的曲线,且以长于由缺口部切取衬底的圆周的圆弧的方式进行精加工。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117476526A
(43)申请公布日2024.01.30
(21)申请号202310735934.9
(22)申请日2023.06.20
(30)优先权数据
2022-119717202
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