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本申请提出一种玻璃微槽加工方法和系统、玻璃制品，方法包括：将激光整形为贝塞尔光束；通过贝塞尔光束对玻璃基板进行照射；在照射的过程中控制玻璃基板按照预设路径移动，以使改性线移动形成改性面；将形成改性面后的玻璃基板置于刻蚀溶液进行刻蚀，以在玻璃基板的表面形成目标微槽。本申请仅对目标微槽的槽底角的角平分线所构成的面的位置进行照射，极大缩短了激光扫描时间，同时通过规划玻璃基板沿目标微槽的槽底角的角平分线的轨迹移动，可以灵活地制备不同形状的由玻璃微槽构成的玻璃微结构，利用化学刻蚀的抛光作用，有效提高了玻璃
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117430339A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311307751.3
(22)申请日2023.10.10
(71)申请人南方科技大学
地址518055
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