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本实用新型公开了一种钙钛矿薄膜的退火装置,包括:外炉,外炉具有炉腔,炉腔的腔壁上均布有加热丝;内炉,内炉适配于外炉的炉腔内,内炉具有多个腔室;基架台,基架台可移动地适配于腔室中,基架台包括基台和封板,基台用于承载钙钛矿薄膜,封板用于封堵所述腔室的腔口,每个腔室适配一个所述基架台。由于热量在内炉上得到了均布,因此内炉中每个基架台所吸收的热量接近相等,每个基架台的各个部位吸收的热量接近相等。如此不仅确保了各个钙钛矿薄膜受热均匀,同时确保了每个钙钛矿薄膜的各个部位受热均匀。将钙钛矿薄膜所在的基架台移出
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220368988U
(45)授权公告日2024.01.19
(21)申请号202321965350.2
(22)申请日2023.07.25
(73)专利权人中国华能集团清
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