光刻胶生产用高通量反应釜控制方法、装置、设备及介质.pdfVIP

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2024-01-20 发布于北京
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光刻胶生产用高通量反应釜控制方法、装置、设备及介质.pdf

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本申请涉及一种光刻胶生产用高通量反应釜控制方法、装置、设备及介质，包括获取各个进料口的进料口进料消息，根据进料口进料消息触发控制阀指令，根据控制阀指令生成反应釜启动指令，根据反应釜启动指令启动反应釜；实时获取高通量反应釜的反应釜工作数据并分析对应的反应波动，得到反应釜工作数据对应的反应波动数据；将反应波动数据与高通量反应釜的反应设定阈值进行反应比对，根据反应对比结果推选出最优的反应控制参数并触发反应釜控制指令；根据反应釜控制指令对高通量反应釜进行控制参数优化处理，根据优化后的控制参数控制对应的若

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117414785A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311745758.3

(22)申请日2023.12.19

(71)申请人广东林工工业装备

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