工艺技术人员初级考试题附答案.doc

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工艺技术人员初级考试题附答案

1.管P所使用的气体有氮气、硅烷、()三种。

()(答案:氨气)

2.石墨舟更换一次卡点的周期为()个月。

请用阿拉伯数字作答

(答案:3)

3.背钝化在表面渡一层()形成表面钝化。

()(答案:氧化铝)

4.理想ALD维护前需检查内面板()有无堵塞。

()(答案:气孔)

5.背面管P膜厚控制范围在125±15nm,测试频率()周一次.

请用阿拉伯数字作答

()(答案:1)

6.PE的目的是在表面形成一层(),可以达到减少光的。

氮化硅

()(答案:反射)

7.RauthRau机器的腔体有进料腔

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