原创力文档- 1、本文档共12页，其中可免费阅读7页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
四探针法测量半导体电阻率及薄层电阻
【实验目的】
1、掌握四探针测量半导体材料电阻率和薄层电阻的测量原理及方
法；
2、针对不同几何形状的样品，掌握其修正方法；
3、测试给定的三块不同规格样品数据，使用EXCEL软件对样品的
数据进行计算和处理，如电阻率、方块电阻、标准差、不均匀度，
画出电阻率波动图
【实验原理】
1.半导体材料的电阻率
在半无穷大样品上的点电流源，若样品的电阻率ρ均匀，引入点电
流源的探针其电流强度为I，则所产生的电力线具有球面的对称性，即等
位面为一系列以点电流为中心的半球面，如图1所示。在以ｒ为半径的半
球面上
文档评论（0）