GB_T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置.pdf

ICS25.180.10

CCSK61

电热和电磁处理装置基本技术条件

第417部分：碳化硅单晶生长装置

2023-05-23发布2023-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

席度1*

码e等

目次

前言……………………Ⅲ

引言……………………V

1范围……………………1

2规范性引用文件………………1

3术语和定义……………………1

4产品分类………………………2

4.1型号参数……………2

4.2单晶炉形式、加热方法及代号……………2

4.3主要参数……………3

5技术要求…………………3

5.1总体要求…………………3

5.2设计和制造的补充要求…………………4

5.3性能要求…………………6

5.4成套要求…………………7

6试验方法…………………7

6.1一般要求…………………7

6.2压升率的测量……………7

6.3炉温稳定度的测量………………………7

6.4运动参数相对偏差的测量………………8

6.5速度百分偏差的测量……………………8

6.6爬行量的测量……………8

6.7同轴度的测量……………8

6.8工业生长晶体试验………………………8

7检验规则………………………9

7.1一般要求……………9

7.2出厂检验项目………………9

7.3型式检验项目…………………9

8标志、包装、运输和贮存………………………9

8.1一般要求……………9

8.2其他要求……………10

9订购与供货……………………10

9.1一般要求……………