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本发明的目的是降低用于检测可动反射镜的偏转角的信号的噪声。本发明的光扫描装置包括反射镜、驱动部、检测部、虚设电容部。检测部在与驱动部的动作相关的可动电极和与驱动部的动作无关的固定电极之间产生静电电容。虚设电容部在第1电极和第2电极之间产生虚设静电电容。可动电极、固定电极、第1电极、第2电极设置在同一有源层(53)上，各自分离，有源层(53)夹着绝缘层(52)与公共的支撑层(51)相对配置。在设置有固定电极的有源层(53)和支撑层(51)之间产生的第1寄生电容(Cs‑R)与在设置有第1电极的有源层
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117413214A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202280039326.8(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限
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