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本实用新型公开了一种沉积炉的除尘装置,其腔体内转动安装有连通座,连通座与连通管活动密封连接,连通座承载各吸尘管、并带动各吸尘管在腔体内转动,连通座中设有与连通管连通的连通腔,吸尘管的一端与腔体连通,各吸尘管的另一端通过连通腔和连通管与吸尘器连通,各吸尘管上设有与腔体内壁紧贴的毛刷。本实用新型通过毛刷能随吸尘管转动,即可对腔体内壁进行清扫,毛刷所清扫下来的杂物和尘埃能及时通过吸尘管的吸力进行吸引,解决了现有人工除尘工作过程中除尘不彻底、人工差异性大和效率低等问题,能有效保证化学气相沉积炉反应腔内所
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220346773U
(45)授权公告日2024.01.16
(21)申请号202321919408.X
(22)申请日2023.07.20
(73)专利权人湖南泰坦未来科技有限公司
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