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半导体项目计划设计方案
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半导体项目计划设计方案
目录
TOC\h\z27525序言 3
9869一、工艺说明 3
31865(一)、技术管理特点 3
24091(二)、半导体项目工艺技术设计方案 4
26035(三)、设备选型方案 5
1377二、半导体项目可持续发展 7
3878(一)、可持续战略与实践 7
21207(二)、环保与社会责任 7
21110三、产品规划分析 8
27254(一)、产品规划 8
14607(二)、建设规模 9
14312四、半导体项目建设背景及必要性分析 10
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