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2023年分步重复光刻机项目规划设计蓝图.docx

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    分步重复光刻机项目规划设计蓝图

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    分步重复光刻机项目规划设计蓝图

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    TOC\h\z17418前言 3

    13679一、分步重复光刻机项目土建工程 3

    24753(一)、建筑工程设计原则 3

    12364(二)、土建工程设计年限及安全等级 4

    7756(三)、建筑工程设计总体要求 5

    2822(四)、土建工程建设指标 6

    30997二、分步重复光刻机项目文档管理 6

    18654(一)、文档编制与审查 6

    10129(二)、文档发布与分发 8

    3456(三)、文档存档与归档 8

    20749三、分步重复光刻机项目建设

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