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本申请实施例提供了一种压力传感器及其成型方法和电子设备,压力传感器包括支撑层;敏感层,敏感层设置于支撑层的第一表面;感测组件,感测组件包括压阻件、屏蔽层和隔离层,压阻件设置于敏感层中,屏蔽层包裹在压阻件上,隔离层设置于压阻件和屏蔽层之间。屏蔽层在外加电势的作用下,可以减小压力传感器在测量时的上电漂移,实现压力传感器对压力的实时准确测量,以快速并高精度测量压力。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117387806A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311243229.3
(22)申请日2023.09.25
(71)申请人歌尔微电子股份有限公司
地址2
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