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洁净室设备项目计划设计方案
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洁净室设备项目计划设计方案
目录
TOC\h\z14303概论 3
10600一、工艺说明 3
5564(一)、技术管理特点 3
24612(二)、洁净室设备项目工艺技术设计方案 4
7218(三)、设备选型方案 5
31209二、洁净室设备项目绩效评估 7
16401(一)、绩效评估指标 7
20702(二)、绩效评估方法 8
12571(三)、绩效评估周期 9
25387三、洁净室设备项目建设单位说明 10
29846(一)、洁净室设备项目承办单位基本情况 10
10677
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