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化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体项目规划设计纲要
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化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体项目规划设计纲要
目录
TOC\h\z25003前言 3
11480一、工艺说明 3
20068(一)、技术管理特点 3
23796(二)、化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体项目工艺技术设计方案 4
8794(三)、设备选型方案 6
24275二、化学气相沉积硒化锌(CVDZNSE)晶体项目文档管理 7
9113(一)、文档编制与审查 7
17957(二)、文档发布与分发 9
11673(三)、文档存档与归档 10
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