原创力文档- 1、本文档共20页，其中可免费阅读19页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及硅棒含氧量控制的技术领域，特别是涉及一种基于多参数协同控制的硅棒含氧量调控方法及系统，其能够有效解决单晶炉使用时间延长和环境变化对硅棒含氧量控制的挑战，提高硅棒的质量和性能；方法包括：获取硅棒生产要求，并对硅棒生产要求进行含氧量数据识别、提取，获得硅棒含氧量规定值；根据预先设定的数据采集时间频率对单晶炉内硅棒拉制环境数据进行持续采集，并将每次采集的环境数据与采集时间戳相关联，获得炉内拉制环境数据集合；炉内拉制环境数据集合包括结晶温度、拉制速度、气氛流速以及炉内气压；按照采集时间戳的先后
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117364231A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311678001.7C30B29/06(2006.01)
(22)申请日2023.12.
文档评论（0）