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本实用新型公开了一种含热隔离槽的多级级联可调光衰减器,包括n级级联VOA结构,第二级、第三级...第n级为第一级VOA结构的重复。本实用新型采用多级级联马赫曾德干涉仪结构增加光衰减范围,基于热光调制原理,利用非对称臂设计相位差为π/2的常关型VOA结构,并设计U型热隔离槽,隔离马赫曾德干涉仪两臂之间的热串扰以及相邻马赫曾德干涉仪结构之间的热串扰,提高热光调制效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220323683U
(45)授权公告日2024.01.09
(21)申请号202320984882.4
(22)申请日2023.04.27
(73)专利权人安庆师范大学
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