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金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案
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金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案
目录
TOC\h\z24525概论 3
17053一、工艺说明 3
31970(一)、技术管理特点 3
24869(二)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目工艺技术设计方案 4
2456(三)、设备选型方案 6
9527二、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目绩效评估 7
5476(一)、绩效评估指标 7
13811(二)、绩效评估方法 8
4724(三)、绩效评估周期 10
19989三、金刚石膜-声表面波器件（
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