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半导体的高温掺杂课件
半导体高温掺杂概述半导体高温掺杂原理半导体高温掺杂技术半导体高温掺杂的应用半导体高温掺杂的挑战与未来发展contents目录
CHAPTER半导体高温掺杂概述01
高温掺杂是指在高温条件下，将杂质元素引入半导体材料中，以改变其电学特性的过程。定义高温掺杂通常采用高温气相沉积或熔融法，掺杂的杂质元素主要有硼、磷、砷等，可实现N型或P型半导体的制备。特性定义与特性
类型高温掺杂可分为施主掺杂和受主掺杂两类。施主掺杂引入的杂质元素提供自由电子，形成N型半导体；受主掺杂引入的杂质元素接受电子，形成P型半导体。效果通过控制掺杂类型和浓度，可以调节半导体的导电性能，实现器件性能的优化
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