氧化锌铝靶材标准文本.pdf

氧化锌铝靶材

1范围

本文件规定了氧化锌铝靶材的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮

存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于由ZnO和AlO按照一定比例混合的氧化锌铝靶材（以下简称AZO），

23

用于薄膜太阳能电池镀膜和建筑节能玻璃镀膜。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期

的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括

所有的修改单）适用于本文件。

GB/T8411.2陶瓷和玻璃绝原材料第2部分：试验方法。

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判断。

GB/T6394金属平均晶粒尺寸测定方法。

GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法。

GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法。

SL499钻孔应变法测量残余应力的标准测试方法。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本标准。

3.1表观密度density

每单位体积物质的质量。

3.2相对密度relativedensity

AZO表观密度与理论密度的比值。

AZO质量百分比ZnO:AlO98:2时，AZO理论密度以5.57g/cm计算。3

23

AZO质量百分比ZnO:AlO98.85:1.15时，AZO理论密度以5.59g/cm计算。3

23

4分类

AZO分为平面靶和管状靶，按ZnO和AlO的比例分为两个个牌号：AZO-1、AZO-2

23

3

5技术要求

5.1化学成分

5.1.1主要成分

5.1.1.1牌号AZO-1的质量比ZnO:AlO98:2，AlO的偏差为±0.1。

2323

5.1.1.2牌号AZO-2的质量比ZnO:AlO98.85:1.15，AlO的偏差为±0.05。

2323

5.1.2杂质成分

AZO的杂质成分应符合表1的规定。

表1AZO杂质成分

-4

杂质含量，不大于（×10）%

FeCuPbNaSiCa

CdMnCrNi

2010202010020

1051010

5.1.3其他

需方如对AZO的化学成分有特殊要求时，由供需双方商定。

5.2物理性能

5.2.1相对密度：AZO靶材相对密度应分别≥96%；密度均匀性偏差≤±0.2％。

-4

5.2.2电阻率：≤5×10Ω·cm。

5.2.4抗折强度：≥150MPa。

5.2.5残余应力＜10MPa。

5.2.6晶粒尺寸分布大致均匀，平均晶粒尺寸≤20μm，最大晶粒尺寸≤50μm。

5.2.7AZO物理性能如有其他要求，由供需双方商定。

5.3物理规格

AZO分为平面型靶材和管状型靶材，其规格尺寸及其偏差由供需双方商定。

5.4外观质量

5.4.1AZO表面粗糙度≤