微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术要求.pdf

微机电系统（MEMS）技术基于MEMS技术的车规级压力传感器技术

要求

1范围

本文件规定了车规级MEMS压力传感器（以下简称传感器）的术语和定义、分类、技术要求和试验

方法。

本文件适用于车规级压力传感器，主要适用于本文件第4节所列的汽车用压力传感器，其他压力传

感器可参考使用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T7665传感器通用术语

GB/T19951道路车辆静电放电产生的电骚扰试验方法

GB/T18655车辆、船和内燃机无线电骚扰特性用于保护车载接收机的限值和测量方法

GB/T21437.3道路车辆由传导和耦合引起的电骚扰第3部分：除电源线外的导线通过容性和感性

耦合的电瞬态发射

GB/T26111微机电系统（MEMS）技术术语

GB/T33014.2道路车辆电气、电子部件对窄带辐射电磁能的抗干扰试验方法第2部分电波暗室

法

GB/T33014.4道路车辆电气、电子部件对窄带辐射电磁能的抗干扰试验方法第4部分大电流注

入（BCI）法

GB/T33014.9道路车辆电气、电子部件对窄带辐射电磁能的抗干扰试验方法第9部分便携式发射

机法

JJG624动态压力传感器检定规程

AEC-Q100基于失效机制的集成电路应力测试认证（Failuremechanismbasedstresstestqualification

forIntegratedCircuits）

AEC-Q103-002基于失效机制的MEMS压力传感器应力测试认证（Failuremechanismbasedstress

testqualificationforMicroElectro-MechanicalSystem(MEMS)Pressuresensordevices）

3术语和定义

GB/T7665、GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

车规级MEMS传感器

1

性能和可靠性满足汽车使用要求的MEMS传感器。

3.2

车规级MEMS压力传感器

应用于压力检测的车规级MEMS传感器，包括硅压阻式压力传感器、硅电容式压力传感器、硅压电

式压力传感器、硅谐振式压力传感器、硅微熔压力传感器等。

4分类

4.1汽车压力传感器应用分类

按照压力传感器在汽车中的主要用途，将汽车压力传感器分为如表1所列的27类，但不限于以下分

类。

表1汽车压力传感器分类

汽车电子

序号分类用途

电气架构

1刹车压力传感器测量刹车液压或气压压力，提供信号给ECU来保证制动

2变速器压力传感器测量变速器油的压力提供信号给换挡控制单元来换挡

3胎压传感器测量轮胎的压力，提示轮胎状态

4变速器压力传感器测量并输出变速器油的压力，提供信号给换挡控制单元来换挡

制动主缸油压传感器的作用是控制制动系统中油压助力装置中的油液压

5制动主缸油压传感器

力，检测储压器压力，向外输出油泵接通与断开及油压异常时报警信号

底

6制动轮缸压力传感器检测汽车制动轮缸的压力，可以更好的对应车轮运动状态

盘

真空助力器压力传感