氧化铟锡靶材标准文本.pdf

氧化铟锡靶材

1范围

本文件规定了氧化铟锡靶材（以下简称ITO）的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包

装、运输与贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于由In2O3和SnO2按照一定比例混合的氧化铟锡靶材（简称ITO），是制作透明

导电薄膜的核心材料。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引

用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改

单）适用于本文件。

GB/T5163烧结金属材料(不包括硬质合金)可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的

测定

GB/T1551硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流两探针法

GB/T13298金属显微组织检验方法

GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法

GB/T6569精细陶瓷弯曲强度试验方法

GB/T38389ITO化学分析方法

SL499钻孔应变法测量残余应力的标准测试方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判断

3术语和定义

下列术语和定义适用于本标准。

3.1

表观密度density

每单位体积物质的质量。

3.2

相对密度relativedensity

ITO表观密度与理论密度的比值。

ITO质量百分比InO:SnO90:10时，ITO理论密度以7.155g/cm计算。3

232

ITO质量百分比InO:SnO93:7时，ITO理论密度以7.143g/cm计算。3

232

ITO质量百分比InO:SnO95:5时，ITO理论密度以7.134g/cm计算。3

232

ITO质量百分比InO:SnO97:3时，ITO理论密度以7.131g/cm计算。3

232

ITO质量百分比InO:SnO98:2时，ITO理论密度以7.115g/cm计算。3

232

ITO质量百分比InO:SnO99:1时，ITO理论密度以7.103g/cm3计算。

232

4分类

3

ITO分为平面靶和管状靶，ITO按InO和SnO的比例分为六个牌号：ITO90、ITO93、

232

ITO95、ITO97、ITO98、ITO99。

5技术要求

5.1化学成分

5.1.1主要成分

5.1.1.1牌号ITO90的质量比InO:SnO90:10，SnO的偏差为±0.5。

2322

5.1.1.2牌号ITO93的质量比InO:SnO93:7，SnO的偏差为±0.4。

2322

5.1.1.3牌号ITO95的质量比InO:SnO95:5，SnO的偏差为±0.3。

2322

5.1.1.4牌号ITO97的质量比InO:SnO97:3，SnO的偏差为±0.3。

2322

5.1.1.5牌号ITO98的质量比InO:SnO98:2，SnO的偏差为±0.2。