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本发明公开的一种消除光泽目标物多重反射的光学测量系统,包括激光端与接收端,激光端的端部设置有波片,激光端发射线偏振光穿过波片转换为环形偏振光投射至样品表面;接收端设置在所述激光端的一侧,接收端一侧设置有偏振片,圆偏振光经过样品表面进行多重折射后反射至偏振片;偏振片进行特定光源遮挡后传输至接收端进行接收测试,得到样品轮廓;通过o光和e光对样品表面多重反射能量差,利用偏振片滤除能量差,有效减少杂散光干扰,提高检测精度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117346692A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311439346.7
(22)申请日2023.11.01
(71)申请人苏州中科行智智能科技有限公司
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