- 1、本文档共9页,其中可免费阅读8页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种LPCVD软着陆双层炉管机构,其技术方案要点是,包括炉体,炉体一侧设有炉口,另一侧设有炉尾,所述炉体内还设有石英管,所述石英管内设有金属管,所述炉体靠近炉口一端通过第一法兰组分别与石英管及金属管连接,所述炉体靠近炉尾一端还通过第二法兰组与石英管及金属管连接,所述金属管与第二法兰组之间还设有金属波纹管,所述金属管内还设有支撑装置,所述支撑装置上还设有放置装置,本发明减少内石英管的损伤,通过对内石英管内壁上加装金属管有效的保证石英管的使用寿命,同时降低了生产成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117344285A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311310457.8F16J15/06(2006.01)
(22)申请日2023.10.
文档评论(0)