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本发明提供一种用于红外探测器的盖帽结构及其形成方法。该盖帽结构及其形成方法中,衬底的正面形成有第一凹槽,第一凹槽限定出间隔分布的多个第一信号接收柱,衬底的背面形成有第二凹槽,第二凹槽与第一凹槽位置对应,且第二凹槽限定出间隔分布的多个第二信号接收柱,环绕第一凹槽的侧墙结构形成于衬底正面上。本发明利用形成在衬底正面和背面的多个第一信号接收柱和多个第二信号接收柱替代传统的红外窗口薄膜,且在衬底正面上直接形成侧墙结构,可以降低盖帽结构的制作难度和提高产品良率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117352561A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202210745402.9
(22)申请日2022.06.27
(71)申请人无锡华润上华科技有限公司
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