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三.长度尺寸测量;测量的基本概念;;;;;;;;;;;;;;§2-2量块的检定;;;;;;极限偏差te,长度变动量允许值tv;;;;;;;;;;;;立式光学计检定量块;;;;;;;;;;;;内容;一.激光干涉法测表面粗糙度与台阶高度;;1.1PSI测表面粗糙度; 测量时，压电驱动器线性移动参考表面，从而导致两个光束相位发生移动。系统记录不同相位下条纹强度，并综合光强数据，作出随相位变化的光强变化波形。表面高度由以下公式得出：
H(x,y)=λ*Ф(x,y)/(4*Π)
λ为光源波长，Ф(x,y)是相位。
当条纹图案足够时，这项技术是可靠的。但如果相邻测点高度超过λ/4，半波长的倍数会被忽略。;;1.2VSI测表面台阶;;;线纹尺的检定;;;;;;移相器;（1）平行平面玻璃板;（2）翼形板;（3）阶梯板;其他;;;;;;等厚干涉原理及应用;1、原理;2、劈尖;2、劈尖;2、劈尖;2、劈尖;2、劈尖
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