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物理量传感器以及惯性测量装置,能够避免与质量分布的不均相伴的不良情况。物理量传感器(1)包括固定部(40A、40B)、支承梁(42A、42B)、可动体(MB)和第一固定电极组(10A、10B)。可动体(MB)与支承梁(42A、42B)的另一端连接,第一固定电极组(10A、10B)设置于基板(2),并配置于支承梁(42A、42B)的第一方向(DR1)。可动体(MB)具有第一连结部(30A、30B)、第一基部(23)和第一可动电极组(20A、20B)。第一可动电极组(20A、20B)与第一固定电极组
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117310206A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202310774656.8
(22)申请日2023.06.28
(30)优先权数据
2022-104368202
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