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本实用新型公开了一种防止真空泵过载的快慢速装置，属于真空处理技术领域，包括真空腔室，所述真空腔室上设置有第一阀门与第二阀门；真空管道，所述真空管道与所述第一阀门、真空腔室连通形成第一真空组件；波纹管，所述波纹管与所述第二阀门、真空腔室以及真空管道连通形成第二真空组件；所述第二真空组件的进气量低于所述第一真空组件的进气量。本实用新型采用波纹管及第二阀门与真空腔室连通，形成进气量低于第一真空组件的第二真空组件，初始状态下，将第二阀门打开，使较低进气量的大气进入真空管道内，避免真空泵出现过载现象，保证
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220248296U
(45)授权公告日2023.12.26
(21)申请号202321671002.4F04B39/14(2006.01)
(22)申请日2023.06.
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