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化合物半导体的外延生长设备项目规划设计方案
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化合物半导体的外延生长设备项目规划设计方案
目录
TOC\h\z16336概论 3
9775一、化合物半导体的外延生长设备项目土建工程 3
24159(一)、建筑工程设计原则 3
21270(二)、土建工程设计年限及安全等级 4
16270(三)、建筑工程设计总体要求 5
29434(四)、土建工程建设指标 6
9257二、市场分析、调研 6
19576(一)、化合物半导体的外延生长设备行业分析 6
1387(二)、化合物半导体的外延生长设备市场分析预测 7
21663三
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