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本发明公开了一种LaErCe共掺杂ITO靶材及其制备方法与应用,涉及靶材技术领域,包括以下重量份数的制备原料:氧化铟100份、氧化锡10份~12份、氧化镧1份~2份、氧化铒4份~5份、氧化铈0.1份~0.2份、硅烷偶联剂1份~2份、钛酸酯偶联剂3份~4份、聚乙烯吡咯烷酮10份~20份、酸0.3份~0.4份、水1000份~1500份和醇100份~200份。本发明通过对靶材的制备原料进行控制,从而制得了透光率高且电阻小的靶材。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117285343A
(43)申请公布日2023.12.26
(21)申请号202311141928.7
(22)申请日2023.09.06
(71)申请人株洲火炬安泰新材
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