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本发明公开了导流筒、单晶炉和单晶拉制方法,该导流筒包括衬筒和与衬筒相连接的连接装置,连接装置包括第一套环和与第一套环相连接的第二套环,第二套环位于第一套环的下方,第二套环远离第一套环一侧设置有反射装置,反射装置用于在坩埚内固液界面形成亮区。本发明通过反射装置能够在坩埚内固液界面外侧形成亮区,当在单晶炉上加装采集装置时,采集装置可以监测该亮区的变化,从而实现对熔体界面流的监测,通过熔体界面流的监测为后续调整晶棒生长界面的形态奠定基础,从而后续对拉晶过程中晶埚转进行调整,进而减小了断苞现象。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117286563A
(43)申请公布日2023.12.26
(21)申请号202311144510.1G06F17/11(2006.01)
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