行业标准《硅片包装》编制说明.pdfVIP

行业标准《硅片包装》

编制说明

一、工作简况

1、任务来源

根据工信部《工业和信息化部办公厅关于印发2013年第二批行业标准制修订计划的

通知》（工信厅科[2013]102号）的要求，由杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料

股份有限公司、南京国盛电子有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司等负责《半导

体硅片包装》标准的修订，计划编号为2013-0392T-YS。

2、标准项目承担单位简况（400字内）

3、主要工作过程

根据任务要求2013年7月开始部署制定《硅片包装》工作。为圆满完成该标准的修

订工作，成立了标准编制工作小组，查阅了YS/T28-1992《硅片包装》行业标准，并对

全文进行研究，并调研了部分国内硅片生产企业，确定要修订的具体内容。

根据目前国内实际产品结构类型，硅片主要为外延片、抛光片、SOI硅片、硅研磨片、

太阳能电池用硅片，其中外延片、抛光片、SOI硅片的包装形式一样，都需要为洁净包装，

因此统一为洁净包装。本标准确定按硅片洁净包装、研磨片包装、太阳能电池用硅片包装

这三大类产品进行修订。并广泛的征求了有研半导体材料股份有限公司、天津市环欧半导

体材料技术有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、万向硅峰

电子股份有限公司等硅材料厂家意见，并积极采纳合理化意见，形成了标准讨论稿。2013

年8月27日在深圳召开的标准工作会议，参会单位有中国计量科学研究院、天津市环欧

半导体材料技术有限公司、有研半导体材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海

合晶硅材料有限公司等。与会专家对标准逐项进行了讨论，并达成以下修改意见和建议：

1、标准名称由《半导体硅片包装》更改为《硅片包装》，扩大范围，把太阳能电池用

硅片的包装也包括在内。

2、“1范围”中增加太阳能电池用硅片包装。

3、“2规范性引用文件”中增加GB/T26071《太阳能电池用硅单晶切割片》标准。

4、“2.规范性引用文件”中对于SEMI标准的引用，增加英文名称。

5、“3术语和定义”中，内包装袋的英文名称boxwrap应更改为innerbox；

6、“4.1包装环境”表1中增加太阳能电池用硅单晶切割片包装环境的要求，温湿度

的范围参考相应洁净室等级的范围。

7、“4.2包装材料”中，对洁净包装、研磨片包装和太阳能电池用硅片包装所用到的

包装材料进行分类描述。

8、4.2.3中包装材料的承压增加“使硅片无破损”。

9、“4.3包装方法”中增加4.3.3太阳能电池用硅片的包装方法。

10、“5.洁净包装干扰因素”改为包装干扰因素，同时增加研磨片包装和太阳能电池

用硅片的干扰因素。

11、5.洁净干扰因素中，洁净室百级统一更改为国标2级。

12、5.2中“应因可能避免”更改为“尽可能避免”。

会后，标准编制组根据标准会各专家提出的意见对稿进行了认真修改，形成了本标准

征求意见稿。是否有修改后的发邮件征求意见，如果有，在此简单介绍！

4、本标准的主要起草人

王飞尧高级工程师

孙燕高级工程师

马林宝高级工程师

夏根平高级工程师

林清香工程师

二、本标准编制的原则和依据

1.标准编制原则

1.1本标准的编写格式按国家标准GB/T1.1-2009《标准化工作导则第1部分：标准

的结构和编写》的统一规定和要求进行编写的；

1.2本标准在制定过程中，参考了92版老标准和国际的相关标准，结合目前国内行业内

实际使用产品结构和分类的具体情况，并综合考虑了行业的实际需求与未来一段时间内的

技术发展要求。

1.3在制定本标准时，不但依据国内生产企业的技术生产现状，还考虑了将来的技术发

展趋势。本着适合多数、助进技术进步的原则，制定本标准。

2.本标准的依据

本标准编制过程中引用或参考了下列标准：

A、三大产品相关的国家标准：