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本发明公开了一种可实现温度补偿的膜片及其制备方法和应用,可实现温度补偿的膜片包括由金属片制成的膜片本体,膜片本体包括左半膜和右半膜,左半膜和右半膜上设置有波纹回转体,并且左半膜和右半膜以膜片本体的中线为对称轴相互对称;膜片本体整体呈正锥形或负锥形。本发明通过对膜片结构进行重新设计,可以将膜片式传感器的温度补偿由结构件补偿变更为膜片自身补偿,补偿值范围可由现有技术中的‑15~15μm扩大至‑30~40μm,补偿效果更为明显;并且能够保证在膜片式传感器小型化的同时实现温度补偿,同时可以大幅降低对结构
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117268623A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311097222.5
(22)申请日2023.08.28
(71)申请人成都凯天电子股份有限公司
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