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化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案
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化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案
目录
TOC\h\z13421前言 3
32298一、产品规划 3
31349(一)、产品规划 3
16962(二)、建设规模 4
6465二、化合物半导体的外延生长设备项目建设地方案 5
7109(一)、化合物半导体的外延生长设备项目选址原则 5
1445(二)、化合物半导体的外延生长设备项目选址 6
7151(三)、建设条件分析 7
9408(四)、用地控制指标 8
4337(五)、用地总体要求 8
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