一种导电均匀石墨烯薄膜的无缝转移方法.pdfVIP

一种导电均匀石墨烯薄膜的无缝转移方法.pdf

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本发明公开了一种导电均匀石墨烯薄膜的无缝转移方法,传统方法以PMMA为载体,将长有CVD石墨烯的金属催化剂衬底化学刻蚀后,PMMA/石墨烯会被转移至绝缘基底,并进一步去除PMMA使石墨烯暴露充当电极。但去除PMMA过程会导致石墨烯破损,严重影响石墨烯的导电均匀性。相比之下本方法的明显优势在于,可以将石墨烯朝上的石墨烯/PMMA一起转移至目标基底,使石墨烯直接充当电极,无需去除PMMA,从而完全避免了石墨烯破损对薄膜导电通道的不良影响,最终获得高性能导电均匀石墨烯透明薄膜。本发明提供的这种导电均匀

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117253654A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202210672212.9C01B32/194(2017.01)

(22)申请日2022.06

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