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2023年微波集成电路AL2O3基片项目规划设计蓝图.docx

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    微波集成电路AL2O3基片项目规划设计蓝图

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    微波集成电路AL2O3基片项目规划设计蓝图

    目录

    TOC\h\z24375概论 3

    17696一、微波集成电路AL2O3基片项目建设单位说明 3

    14760(一)、微波集成电路AL2O3基片项目承办单位基本情况 3

    18999(二)、公司经济效益分析 4

    27464二、工艺说明 5

    30792(一)、技术管理特点 5

    1890(二)、微波集成电路AL2O3基片项目工艺技术设计方案 6

    25524(三)、设备选型方案 7

    28171三、产品规划分析 9

    31890(一)、产

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