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直线压电粘滑平台设计与分析
题目
直线压电粘滑平台设计与分析
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摘要
微纳米科学技术在最近几年迅猛发展，传统的宏观大尺寸驱动装置已很难满足现代科技的精度要求。精密光学、航空航天、芯片开发和军事技术等领域又需要精密加工，而这也就跟粘滑驱动平台的发展有着密切的关系。压电效应被发现之后，压电材料的逆压电效应也被人们研究出来，随之而来的就是各种压电陶瓷的产生，这些变化在很大程度上推动了微操作领域直线粘滑驱动的发展，并在精密驱动领域显示出了广泛的应用前景。
因此，本文目的在于设计一个基于粘滑驱动原理的直线压电粘滑平台，来改善现有粘滑平台寿命短、运动不平稳等问题
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