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本发明属于微结构特种加工技术领域,具体说是一种超声射流辅助水导激光加工装置,包括:超声模块、水导激光加工头模块、供液模块以及控制模块;控制模块使超声模块产生超声波作用于工件上;供液模块形成设定压力与流量的耦合液,并使供液模块内的耦合液输入至超声模块;水导激光加工头模块,用于产生带有激光能量的水射流并实现对工件的材料去除;超声模块,用于将产生的超声波射入耦合液射流后,超声波能量在耦合液射流内发生全反射并传输至水导激光射流加工区附近。本发明利用耦合液射流与空气之间对超声波阻抗的区别,实现超声波在耦合
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117226256A
(43)申请公布日2023.12.15
(21)申请号202311220080.7
(22)申请日2023.09.21
(71)申请人中国科学院沈阳自动化研究所
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