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本发明公开了一种异质pn结栅极的增强型HEMT器件,包括衬底及依次层叠于所述衬底上的缓冲层、沟道层和势垒层,所述势垒层上设置有漏极、栅极和源极,所述漏极和源极与势垒层形成欧姆接触;所述栅极包括依次层叠在所述势垒层上的p型半导体层和n型半导体层,所述p型半导体层和n型半导体层形成异质pn结。本发明通过形成异质pn结栅极,提高栅极的耐压性能,减小栅极漏电流。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117219676A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311025609.XH01L21/337(2006.01)
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